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LDI-无掩模激光成象光刻机

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产品类别：半导体设备
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更新时间：2023-08-18 17:08:31
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广泛应用多种微纳光刻加工领域的研究与生产，光刻最小线宽600nm，套刻对准精度500nm器件直写光刻功能

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广泛应用多种微纳光刻加工领域的研究与生产，光刻最小线宽600nm，套刻对准精度500 nm器件直写光刻功能。适用于小批量、多品种的研发单位与实验室使用。

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