FS-3000 结合了 HORIBA STEC 的质量流量控制器 (MFC) 和 MuCube(主控制器)。通过从搭载了HORIBA STEC专有控制算法的MuCube控制MFC,FS-3000实现了稳定的分离控制。
特征
该控制算法通过控制流量比实现稳定的流量分流控制,同时利用HORIBA STEC的控制优化技术控制FS-3000上游压力。此外,即使分流比发生变化,控制算法也可实现对流量分流的高速响应。
提高可扩展性、维护性能 FS-3000 通过高速信号处理支持拆分多达 15 个流道。当 MFC 发生故障时,FS-3000 只需更换故障的从机即可修复。
对所需规格的灵活响应 FS-3000 支持多种气体,包括混合气体。此外,FS-3000 支持 RS-485、DeviceNet 作为用户接口。
规格
频道 | 2-15频道 | 工作温度 | 5-50°C(推荐范围:15-45°C) |
引入流量 | 取决于渠道和引入流量 | 耐压 | 1000千帕(克) |
比例设定范围 | 取决于渠道和引入流量 | 安装方向 | 自由的 |
供给压力状况 | 取决于渠道和引入流量 | 控制界面 | RS-485、DeviceNetTM |
阀门类型 | O:常开 C:常闭 | 电源 | Master, Slave DC24V (符合ODVA标准) |
回复 * | 取决于渠道和引入流量 |
*各通道的响应时间以本产品流量输出达到流量设定变化量的98%时的响应时间计算。最慢的响应时间是分流器的响应时间。
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