质量流量控制器
这种通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀，可让您实现对气体流量的高级控制。质量流量控制器 sec-e 系列是一种多功能组件，可用于广泛的行业。
通过质量流量控制器的气流可以控制在一定流量范围内：从 10 SCCM 到 200 SLM。
特征
配备可靠的热传感器和电磁阀
流量控制范围广：从 10 SCCM 到 200 SLM (N2)
适用于广泛的应用
集成到各种制造系统中，包括：LCD、光伏电池、功率半导体、涂层
一般工业：燃烧器气体的控制、大气气体的控制、混合气体的产生、通风量的测量
研发：各类气体传感器、燃烧器性能评估设备；生物技术相关评估
实验室：各种实验气体流量控制器，采样气体等。
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