宽量程压力不敏感质量流量模块
D700WR 安装了一个新的限流器,专为范围广泛的控制应用而设计,具有基于 CRITERION™ 技术的高精度性能。D700WR 可以将流量控制到满量程的 0.1%,这有助于用户优化气体输送系统的灵活性。例如,如果系统安装了多个 MFC 用于高低流量控制,用户可以减少 MFC 的数量,并在同一位置使用另一个 MFC 来实现不同的目的。
特征
0.1~99%宽范围控制,小流量精度高
为流程优化提供灵活性
≤ 500ms 升压响应
提供高生产率和更好的过程性能
坚固的 CIP 压力传感器
减少大批量生产中的停机时间和人工成本
PFA 喷嘴使阀门关闭和耐腐蚀性能提高 10 倍
具有较低颗粒风险的稳健性可减少停机时间并优化产量
状态监控功能
为更智能的故障预测提供更多内部数据
状态监视功能的输出项目
流量/压力调零计数 |
阀门驱动计数 |
/最小P0,P1,P2压力记录 |
/最小块温度记录 |
超过/低于压力规格的总时间。 |
超过/低于温度规格的总时间。 |
总工作时间 |
总控制时间 |
总流动时间(每个校准实例) |
总流量(每个校准实例) |
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