高精度激光干涉仪多用于各类精密运动设备的精度校验工作,数控机床、龙门加工中心、三坐标这类设备,在安装调试、长期使用之后,几何精度会出现变化,直接影响加工产品的品质,很多工厂希望可以直接在车间工位完成设备校验,而不是局限在恒温实验室,
高精度激光干涉仪依靠配套硬件与环境补偿单元,满足现场开展精度检测的需求。
设备采用氦氖激光搭配双纵模热稳频技术,以激光波长作为测量基准,测量结果具备计量溯源条件。干涉镜组和主机采用分离式结构,规避主机自身发热带来镜组形变,保障光路长时间运行的稳定性。设备搭载环境补偿单元,可以实时采集环境当中温度、气压、湿度数据,自动完成激光波长以及工件材料补偿,削弱车间环境波动带来的数据偏差,普通工厂车间也可以开展检测作业,不用局限恒温实验室条件。
整套设备采用模块化光学镜组设计,更换不同镜组,就可以完成线性定位、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴分度精度等多类几何量检测,也可以完成龙门机床双轴同步误差检测,实现设备多项几何误差解耦测量。设备既可以做静态校准工作,也支持动态分析,能够采集位移、速度、加速度、振幅频率相关数据,用于丝杆动态特性、驱动响应、振动工况分析。整套设备搭配三脚架,拆装部署便捷,可以直接在机床所在工位开展校准作业。
硬件配置可以按需选配,镜组与配件不用一次性全部配齐。搭配自动转台组件,就可以完成回转轴高精度校准。轻型反射镜组件自重较轻,降低负载对于运动轴带来的干扰,适配高速运动平台检测。激光器使用寿命较长,可以减少后期更换频次,控制设备全周期使用成本。
配套的专用测量软件采用向导式操作流程,贴合国内操作人员使用习惯,内置多项机床检定相关标准,界面支持多语言切换。静态校准和动态测试功能集成在同一套软件内部,切换操作简单。测量工作结束,软件可以自动生成误差补偿表,补偿得到的数据可以直接给到机床控制系统,完成螺距、反向间隙的修正,减少人工换算工作量。原始测量数据、波形曲线都可以完整保存,报告模板可以自定义,检测图表、误差数据支持导出,还可以离线回放复盘测量数据,满足设备检定、体系审核的数据溯源要求,也可以按照企业需求定制专属报告模板,适配工厂计量部门日常工作流程。
高精度激光干涉仪多用于数控机床、龙门加工中心、三坐标测量机、激光切割机、精密直线运动平台的出厂校验、安装调试、年度精度复检,也可以用于位移传感器检定、科研实验室长导轨精度标定,服务装备制造、新能源、半导体、精密加工等行业,完成设备精度评估与误差修正,帮助企业提升设备加工一致性。设备为国产自研产品,服务商可以提供选型评估、现场实操培训,协助企业落地设备校准方案,国内多地配置技术服务团队,备件供货周期可控,维修、功能升级响应便捷。