| 清洁速度： | 1.Stepper motor t stage 2.提供可程式化之操作介面及控制系统 |
|---|---|
| 风刀角度： | 可手动调整高度&角度 |
| 风量压力控制： | 电子式气压控制 |
| 全管线由无尘等级管线打造： | 提供高洁净度配管（管径6mm） |
| 安全防护机制： | 机台具备外罩，并有开启检知，减少操作人员危险 |
| 落地型设计： | 落地型设计，并具备三色灯警示 |
| 抗静电压克力外罩： | 防火外罩全面配置抗静电压克力，减少静电产生之粒子吸附 |
| 排风设计： | 4-6排风孔 |
| ULPA air filter： | Class 1 |
| Stage/Mask感应SENSOR： | SENSOR感应Stage/MASK位置启动开关喷风动作 |
| 控制系统： | PLC+UI 可控制移动行程于吹风次数 可设Recipe 可控制开盖传送 |
| 配备项目： | 压缩空气滤清器 超音波震荡器 除静电离子风 X-ray除静电系统 |
奈米级光罩除尘设备，适用无尘室。
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