Bruker三维光学表面轮廓仪-ContourGT-X3/X8
布鲁克(Bruker) 是表面测量和检测技术的,服务于科研和生产ling域。新一代白光干涉仪ContourGT系列结合了的64位多核操作和分析处理软件,技术白光干涉仪(WLI)硬件和的操作简易性,是历年来的3D光学表面轮廓仪系统。该系统拥有超大视野内亚埃级至毫米级的垂直计量范围,样品安装灵活,且具有高的测量重复性。ContourGT系列是当今生产研究和质量控制应用中,使用和直观的3D表面计量平台。
应用:
对关键尺寸的测量十分便捷,应用于科研以及半导体行业;LED行业、太阳能行业、触摸屏行业及数据存储行业等,提供非接触式测量方案,样品从小至微米级别的微机电器件(MEMS、化合物半导体等),大到整个引擎部件,都可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等准数据。
原理:
利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。测量度决定于测量光程差的度,干涉条纹每移动一个条纹间距,光程差就改变一个波长(~10-7米),所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的,其测量度之高是任何其他测量
特征:
◆ 高的垂直分辨率,强大的测量性能;
l 0.5~200倍的放大倍率;
l 任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程;
l 高分辨率摄像头;
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