仪器简介
JYC 3000型半导体器件分析仪是一款用于材料器件表征的综合解决方案。具有测试精度高、测量范围宽、测试应用软件灵活专业,它支持 IV、CV、脉冲 IV,可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及电气器件进行各种电气表征和评测。半导体器件分析仪主机有多种选择,软件还提供多种实用测试功能,支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测。测试条件和测量数据可以自动保存到工作区内,使您毫不费力地完成器件表征。
仪器后面板上主要是SMU1、SMU2、CMU模块的连接插座,USB插座,组合电源开关。
特点
• 全进口的硬件配置让你不要担心测试精度,设备的可靠性。
• 高性价的配置组合在保证测试精度的前提下,使得价格大幅降低,基本是满足绝大多数的用户要求。
• 自制完整的配套电缆、测试盒、测试探针台等,满足高精度的测试要求,而且和进口设备保持一致。
• 全中文的、Windows界面的、专业的图形化使用软件,你只需专注予你的科研,而无需了解仪器设备,轻轻一点,你需要的数据就很快会呈现,实时曲线、实时显示数据、自动保存完好的数据文件。
• 可以根据用户需求进行多种测试功能的扩展,更切近每个使用者的实际需求。
• 定制基于硬件的特殊用途软件不收费,对所有用户软件更新免费升级。
典型应用
半导体结构:晶圆、薄膜
有机材料与器件:电子墨水、印刷电子技术
分立器件与无源组件
两端器件: 电阻器、二极管、齐纳二极管、LED、传感器
三端器件:场效应晶体管 (FET),COMS器件和有机半导体器件等等
主要性能指标(可以有更多的不同配置)
1、SMU1-高功率高精度源测量单元 (HRSMU) 1个
高达 200 V/1 A ,2档量程范围: 20V 10A;200V 100mA
电源电压:最小量程 ±20mV,最小分辨率 500nV
电源电流:最小量程 ±10nA,最小分辨率 500fA
测量电压:最小量程±20mV,最小分辨率:10nV
测量电流:最小量程±10nA,最小分辨率:10fA
2、SMU2-高功率脉冲源测量单元 (HPSMU) 1个
高达 210 V/3 A,3档量程:6v 3A;21V ;210V 100mA
电源电压:最小量程 ±200mV,最小分辨率 1μV
电源电流:最小量程 ±100nA,最小分辨率 1pA
测量电压:最小量程±200mV,最小分辨率:100nV
测量电流:最小量程±100nA,最小分辨率:100fA
脉冲源:最小可编程脉冲宽度:50 μs,脉宽编程分辨率 : 1 μs
3、多频率电容测量单元 (CVU) 1个
频率范围为 1KHz 至 1MHz,最小分辨率: (1KHz以下)
测试信号电平范围:0 Vrms - 1 Vrms
提供 ±40 V直流偏置
交流阻抗测量 (C-V、C-f)
测试软件
1、全中文图形化的用户界面,功能设置灵活方便,参数设置提供多种选择。
2、实时显示图形曲线,并自动存储测试数据。
3、具备完整的器件测试分类,包括如:二极管、双极型三极管、MOS管等。
4、主要软件功能:
基本测试:经典扫描、列表扫描、时间采样、长时间采样、四线低电阻测试、脉冲测试等。
二极管:正向导通测试、反向击穿测试等。
MOS管:输出特性、转移特性,反向击穿电压等。
BJT双极性三极管:输出特性、转移特性,反向击穿电压、G图测试等。
OFET有机器件:输出特性、转移特性。
CV特性曲线、CF扫频曲线和Ct时间采样曲线测试等。
应用测试:忆阻器测试、可靠性测试、太阳能电池测试和方块电阻测试等。
标准配件与选件
1)标准配件:低噪声测试屏蔽盒适合四端口封装器件测试,并且可以更换多种封装。
2)选件:
四探针夹具
探针台:
标准配置:探针台体、体视显微镜、三轴管状探针夹具、探针座和探针等。
选件配置:CCD采集卡、屏蔽箱和光源输出光纤支架。
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