广告招募

当前位置:全球工厂网 > 技术中心 > 使用手册

P-7探针式轮廓仪应用

2026年04月21日 13:39:57      来源:明通甄选 >> 进入该公司展台      阅读量:4

分享:

  KLA Tencor® P-7探针式轮廓仪以市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的优秀测量性能,为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。KLA Tencor® P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,扫描范围可达150mm,无需拼接。
 
  P-7探针式轮廓仪特征:
 
  台阶高度:纳米级到1000微米
 
  恒定力控制:0.03至15mg
 
  样品的全直径扫描,无需拼接
 
  视频:5MP高分辨率彩色相机
 
  弧形校正:可消除探针的弧形运动引起的误差
 
  软件:简单易用的软件界面
 
  生产能力:全自动测量,具有测序、图形识别和SECS/GEM功能
 
  P-7探针式轮廓仪应用:
 
  台阶高度:2D和3D台阶高度
 
  纹理:2D和3D粗糙度和波纹度
 
  形状:2D和3D翘曲、形状
 
  应力:2D和3D薄膜应力
 
  缺陷检测:2D和3D缺陷表面形貌
 
  工业
 
  高校、实验室和研究所
 
  半导体和化合物半导体
 
  LED:发光二极管
 
  太阳能
 
  MEMS:微机电系统
 
  数据存储
 
  汽车
 
  医疗器械
版权与免责声明:
1.凡本网注明"来源:全球工厂网"的所有作品,版权均属于全球工厂网,转载请必须注明全球工厂网。违反者本网将追究相关法律责任。
2.企业发布的公司新闻、技术文章、资料下载等内容,如涉及侵权、违规遭投诉的,一律由发布企业自行承担责任,本网有权删除内容并追溯责任。
3.本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。 4.如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系。