膜厚仪的原理详解
2026年01月14日 18:21:58
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膜厚仪,也被称为薄膜厚度测量仪,是一种专门用于精密测量薄膜厚度的仪器。膜厚仪的工作原理主要有以下几种:干涉法:仪器发出不同波长的光波穿透样品膜层,膜的上下表面反射光被仪器接收。反射光相互之间的相位差会增强或减弱,通过测量这一相位差的变化,可以推导出薄膜的厚度。这种方法适用于测量透明或半透明薄膜的厚度。磁感应法:适用于测量磁性基底(如钢)上的非磁性涂层(如油漆、粉末涂层)的厚度。仪器通过测量磁场强度的变化来确定涂层的厚度。当探头靠近涂层时,磁场线会穿过涂层并受到其厚度的影响,从而改变磁场强度。涡流法:适用于测量非磁性基底(如铝、铜)上的涂层厚度。通过在探头中产生高频交流电,产生涡流。涡流的强度和相位变化与涂层的厚度有关,从而可以测量涂层的厚度。超声波法:通过发射和接收超声波脉冲来测量涂层的厚度。超声波在不同材料中的传播速度不同,通过测量超声波从涂层表面反射回来的时间,可以计算出涂层的厚度。X射线荧光法:适用于测量非常薄的涂层,或者在不破坏涂层的情况下测量多层涂层的厚度。通过激发涂层中的元素发出X射线,然后分析这些X射线的能谱,可以确定涂层的厚度和成分。
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