基本参数说明:
1.台面为铝合金(因为铝合金导热性好),尺寸为4英寸/6英寸,平面度5μm
2. 4英寸的带3个真空吸附孔,6英寸的带4个真空吸附孔
3.无油气泵,7L/分钟,可以连续工作
4.可以通水或气体循环冷却
5.含加热功能,搭配日本岛电仪表温控台,加热温度300摄氏度,控温精度±1°,有效区域内温度均衡性±5°
6.可以选配制冷功能,温度﹣130摄氏度(真空环境下)
7.具备快速冷功能,配置水冷却接口,可连接水冷机实现快速降温功能!
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产品简介 :基本参数说明:1.台面为铝合金(因为铝合金导热性好),尺寸为4英寸/6英寸,平面度5μ
基本参数说明:
1.台面为铝合金(因为铝合金导热性好),尺寸为4英寸/6英寸,平面度5μm
2. 4英寸的带3个真空吸附孔,6英寸的带4个真空吸附孔
3.无油气泵,7L/分钟,可以连续工作
4.可以通水或气体循环冷却
5.含加热功能,搭配日本岛电仪表温控台,加热温度300摄氏度,控温精度±1°,有效区域内温度均衡性±5°
6.可以选配制冷功能,温度﹣130摄氏度(真空环境下)
7.具备快速冷功能,配置水冷却接口,可连接水冷机实现快速降温功能!
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