v 功能特点
ü 本底真空-8Torr-10Torr
ü 四轴样品台,XYZ方向均可调节,可倾斜,可旋转
ü RFICP射频离子源
ü霍尔或考夫曼辅助离子源
ü 双掩膜Dual mask
ü UpStream/Downstream控制
ü 膜厚监控仪
ü 可增加OES等离子发射光谱仪定性分析等离子成分
ü 可增加RGA四极质谱仪
ü 可增加进样室,手动/自动上下片基片
(可根据客户要求定制)
北京时代天启真空科技有限公司
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v功能特点ü本底真空-8Torr-10Torrü四轴样品台
v 功能特点
ü 本底真空-8Torr-10Torr
ü 四轴样品台,XYZ方向均可调节,可倾斜,可旋转
ü RFICP射频离子源
ü霍尔或考夫曼辅助离子源
ü 双掩膜Dual mask
ü UpStream/Downstream控制
ü 膜厚监控仪
ü 可增加OES等离子发射光谱仪定性分析等离子成分
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