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北京时代天启真空科技有限公司

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激光直写光刻机

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:
  • 品牌:
  • 产品类别:光学加工机械
  • 所在地:
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  • 样本:
  • 更新时间:2025-04-10 10:01:52
  • 浏览次数:2
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北京时代天启真空科技有限公司

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  • 经营模式:其他
  • 商铺产品:12条
  • 所在地区:
  • 注册时间:2025-04-10
  • 最近登录:2025-04-10
  • 联系人:张经理
产品简介

v功能特点:ü快速超高精度微细加工ü形成2D和2.5D微观结构ü亚微米分辨率ü阶跃曝光/灰度曝光ü能够对多种基底树脂组合进行图案化ü过程数据库支持ü用于监控和校准的CCD摄像机ü自动对焦ü易于使用的软件ü远程控制接口ü坚固稳定的桌面工作站v应用领域:ü二维和2.5D微结构

详情介绍

v  功能特点:

ü  快速超高精度微细加工

ü  形成2D和2.5D微观结构

ü  亚微米分辨率

ü  阶跃曝光/灰度曝光

ü  能够对多种基底树脂组合进行图案化

ü  过程数据库支持

ü  用于监控和校准的CCD摄像机

ü  自动对焦

ü  易于使用的软件

ü  远程控制接口

ü  坚固稳定的桌面工作站

v应用领域:

ü 二维和2.5D微结构,精密光刻掩模

ü 等离子蚀刻掩模,微光学元件

ü 二元光学元件

ü 精密印刷掩模板

ü MEMS传感器

ü 生物芯片传感器

ü 耦合器

ü 整体光刻

ü LIGA模具

ü 小批量生产晶圆规模制造

v技术参数

参数名称技术指标
曝光波长:405 nm (根据要求可选)
XY特征尺寸: <1 µm typical*
XY行程范围:从50×50mm至200×200mm(更大范围可以定制)
定位精度:±1um
分辨率:50nm
速率:500mm/s
负荷:5 kg
设备尺寸:HxWxD 1750x900x625 mm
电气规格:220 VAC, 50/60 Hz


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