新型的 Pura Plus在线微量湿度异动变送器 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的*新需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应*末端，用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus在线微量湿度异动变送器能够提供快速的响应指示，在 20 ppb 湿气级别下 1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。

Pura Plus在线微量湿度异动变送器亮点

• 对 ppb 级别湿度异动的快速响应
• 低湿 ppb 级别的灵敏度 (<1 ppb)
• 多点测量安装的全新概念
• 维护要求低
• 信号灯式的状态指示
• 可设置警告和报警点
• Modbus 网络兼容
• 远程控制界面的多通道软件
• (UHP) 超纯气体的管线检测

Pura Plus在线微量湿度异动变送器