安徽歌博科技A500型干泵氦质谱检漏仪，灵敏度高、操作便捷、低维护，使您放心得到准确可靠的测试结果。

产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜，光伏等行业。

功能描述

支持正压检漏，负压检漏

自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底

机器的性能支持7*24小时长时间在线测试

机器的性能支持几秒一次的高频率测试

配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤

双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击

支持定制检漏工作台，更加便捷使用

技术参数

最小可检漏率（负压模式）            5×10-13Pa•m3/s 

最小可检漏率（正压模式）            5×10-9Pa•m3/s

检漏口压强           粗检        1500Pa

                  中检        200Pa

                  精检        40Pa

响应时间                       ＜0.5s

启动时间                       ≤2min

前级油泵抽速                     14.5m3/h(4L/s)  

外形尺寸（W×D×H）                845×465×988

重量                          75Kg

尺寸图

常见泄漏率

检漏方法示意图