点:
※采用高精度光栅尺为测量基准,测量结果稳定准确,光栅尺有分辨率高、稳定不变、抗干扰等优点。
※镜头可以连续无级变倍且放大倍率高
视野缩放自如,测量定点准确。高放大倍率能有效提高精度和分辨率,而且适合细间距IC和CSP等
(可测间距小于0.2mm的元件)。
※误差来源少,稳定可靠使用相对法消除误差,见误差分析表。另有平均值功能可以有效减少误差。
采用光栅尺为固定基准;采用耐 磨且不易变形的花岗岩平台;一体的机座,稳重抗震;双滚柱
Z轴滑轨,寿命长且精度保持性好。
※可方便地补偿铜箔和阻焊膜厚度误差
※同时监控数条生产线
※完善的统计功能,直观的图表自动判断合格与否,每个产品可以有独立的判断标准和选项设置。
有平均值、标准差、Cpk、不良率、分布图、、X bar-R图等自动计算功能,可自动生成
完善的报表,数据可按Excel格式输出。
※操作简便
※用途广,测量范围大,可用于半导体、点胶、BGA焊球、精密零件等。台面尺寸大,可测量大尺寸产品。
技术参数:
※采用高精度光栅尺为测量基准,测量结果稳定准确,光栅尺有分辨率高、稳定不变、抗干扰等优点。
※镜头可以连续无级变倍且放大倍率高
视野缩放自如,测量定点准确。高放大倍率能有效提高精度和分辨率,而且适合细间距IC和CSP等
(可测间距小于0.2mm的元件)。
※误差来源少,稳定可靠使用相对法消除误差,见误差分析表。另有平均值功能可以有效减少误差。
采用光栅尺为固定基准;采用耐 磨且不易变形的花岗岩平台;一体的机座,稳重抗震;双滚柱
Z轴滑轨,寿命长且精度保持性好。
※可方便地补偿铜箔和阻焊膜厚度误差
※同时监控数条生产线
※完善的统计功能,直观的图表自动判断合格与否,每个产品可以有独立的判断标准和选项设置。
有平均值、标准差、Cpk、不良率、分布图、、X bar-R图等自动计算功能,可自动生成
完善的报表,数据可按Excel格式输出。
※操作简便
※用途广,测量范围大,可用于半导体、点胶、BGA焊球、精密零件等。台面尺寸大,可测量大尺寸产品。
技术参数:
型号 | Real Z 3000 | Real Z 3000A |
量程 | 35mm | 70mm |
测量目标高度 | 55mm | 90mm |
分辨率 | 1um | 1um |
机器精度 | 6um(全量程) | 6um(全量程) |
有效工作台面 | 400×600 mm | 400×600 mm |
放大倍数 | 40─280倍(560倍可选)(可连续无级变倍高精度显微镜头) | 40─280倍(560倍可选)(可连续无级变倍高精度显微镜头) |
激光器功率 | 波长650nm , <30mw | 波长650nm , <30mw |
视频输出 | PAL标准制式 | PAL标准制式 |
显示刷新率 | 50HZ | 60HZ |
通讯端口 | RS232 | RS232 |
激光头保护 | 无 | 过流过压,待机自动关机 |
补偿 | 有铜箔及绿油厚度补偿 | 有铜箔及绿油厚度补偿 |
测量能力 | 2D | 3D |
外形尺寸 | W600*D550*H650mm | W600*D550*H650mm |
电源 | ~220V、50HZ、0.5A | ~220V、50HZ、0.5A |
重量 | 50KG | 58KG |
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