1) 整机采用刚性好、运动质量轻的单边高架桥式结构，其结构简单、紧凑，几何误差小，运动性能好，响应快捷；
2) 三轴、工作台及主立柱均采用优质花岗岩，热膨胀系数小，温度特性相同，因而具有良好的稳定性、整体刚性及抗变形能力；
3) 固定的优质花岗岩工作台，承载能力强、装卸空间广阔，方便零件装卸、测量,由主、辅支撑点进行多支点支撑的结构，确保测量机的精度稳定、安全、可靠。
4) Y轴采用有技术的传动结构，传动平稳、噪音小、精度高；
5) 三轴光栅尺均采用插槽式结构，安装简单、维护方便；
6) 三轴均采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的静压气浮式导轨，轴承跨距大，抗角摆能力强，阻力小、无磨损、运动平稳;
7) Z轴采用低摩擦气缸自平衡重力技术，可实时平衡Z轴重力，保证Z轴运动平稳性、响应快捷，提高了测量机动态测量精度。
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