产品名称： 准分子激光气
其他名称： Excimer Laser Gases
分子式： ArF、KrF、XeCl
UN NO UN 1956
CAS NO
产品纯度： 99.9999％
包装说明：10L、16L、20L、49L、50L
产品名称：准分子激光气体（Excimer Laser Gases)
其他名称：氟化氩激光气体（193nm）；氟化氪激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm）
产品类型： ArF，KrF，XeCl，5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne
UN NO UN1956
钢瓶容积： 11L，16L，20L，49L，50L
阀门型号：CGA679，DIN 8，DIN 14
工业技术的升级转型需要平衡日益增长的性能需求与加工速度及制造成本之间的矛盾。准分子激光的诞生，以其高光子能量所称著，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，再次站在了工业激光解决方案的。作为当今、的脉冲紫外激光技术的代表，有效地推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金
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