1.产品规格| 项目 | S500 (规格Type AR111) |
| 外部密封 | 氟橡胶 |
| 接触气体材料 | SUS316L,氟橡胶,磁性不锈钢 |
| 调节阀类型 | 非通电时常闭 |
| 满量程流量(N2换算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min 1,2,3,5,10,20,30 L/min |
| 流量控制范围 | 2%～99%F.S. (0.1～5V DC) |
| 流量测量范围 | 0～99%F.S. (0～5V DC) |
| 响应时间（输出电压） | 1秒 (保证 1.5秒以内T98) |
| 工作环境温度 | 5～45℃ (精度保证 15～35℃) |
| 流量精度 | ±1.0%F.S |
| 线性 | ±0.5%F.S. |
| 重复性 | ±0.2%F.S. |
| 工作压差 | 10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) 10L/min～30L/min :100～300kPa(d) |
| 工作（使用）压力 | 300kPa(G) |
| 耐压 | 3MPa(G) |
| 泄漏率 | 1×10-8Pa･m3/s(He)以下 |
| 流量设定信号 | 0.1～5VDC(2%～99%F.S.) |
| 流量输出信号 | 0～5VDC(0%～99%F.S.) |
| 供电电源 | +15V±5% 100mA以下 －15V±5% 150mA以下 |
| 管路接头 | 1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR |
| 安装角度 | 任意 |
| 电气接头 | D-Sub 15pin |
| 输入输出阻抗 | 输入：1MΩ以上 输出：3mA以下 |
| 附加功能 | Auto-zero、Auto-close |
满量程流量50mL/min一下的响应时间为2S以内
2. 外形尺寸 
3.电气接口 
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