产品特点 • 全表面测量平面度、波度和轮廓度• 完整的三维分析和报表• 对大于视场范围的表面可以进行无缝拼接• 三维数据点：400万/视场• 垂直分辨率: 50 nm• 横向分辨率: 150 μm• 多表面间的相对关系测量• 高速、非接触、容易使用
性能参数• 运行环境温度： 18 ℃~35 ℃
• 湿度：10% ~ 80% 非冷凝
• 1级激光产品
• 视场范围：280 mm x 280 mm x 275 mm
• 距传感器的工作距离：25 mm to 300 mm
• 横向分辨率：150 μm
• 垂直分辨率：0.05 μm
• 垂直精度基数： 1 μm
• 测量速度：约1分钟/视场
• 测量点数：400万/ 视场
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