晶圆电阻率测试仪采用非接触方式测量晶圆电阻率,测量P/N类型和晶圆厚度,适合硅材料和其它材料的Sheet Resistance测量。
晶圆电阻率测试仪应用
晶圆制造，晶圆品控，晶圆检测等。
晶圆电阻率测试仪规格参数
晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
| Gauge Types | Wafer Diameter | 精度 | 重复精度 | Resistivity Range | Thickness Range | 说明 |
| MX 604 / MX 604-B | silicon blocks | ±3% | 0.25 - 25 Ohm*cm | |||
| MX 604-S | 2" - 8" | ±3% | 0.5% | 0.1 - 50 Ohm/square | 200 - 900μm | |
| MX 604-ST | 125x125, 156x156mm 2"-6"
| ±5% | 0.06 - 30 Ohm*cm | 60 - 300μm | ||
| MX 608 | 6", 8" | 0.001 - 200 Ohm*cm | 500 - 800μm | 厚度，TTV,电阻率，P/N掺杂 | ||
| MX 608-q | 125x125, 156x156mm | 0.1 - 50 Ohm*cm | 150 - 350μm | 厚度，TTV,电阻率 | ||
| MX 6012 | 8", 12" | 0.001 - 200 Ohm*cm | 600 - 900μm | 厚度，TTV,电阻率，P/N掺杂 |
晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
| Gauge Types | Wafer Diameter | Resistivity Range | Thickness Range |
| MX 601 | up to 6" | 5E4 to 5E9 Ohm*cm | 350 - 650μm |
| MX 6010 | 2", 3", 4" | 2E5 to 2E9 Ohm*cm | 300 - 600μm |
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