微探针台系统micro probe system可植入显微镜中,把显微镜改造成探针台系统,实现微操作和微测量功能。

微探针台系统能够把现有光学显微镜升级成高精度和高稳定性的压电微操纵仪器,非常适合紧凑空间和较短工作距离的显微镜使用。适合如下种类的显微镜：

　　正置显微镜和倒置显微镜

　　探针台

　　半导体检测仪器

　　原子力显微镜

　　手套箱和各种环境箱

　　这款微探针台系统非常适合较小的半导体器件的测试,可配备4个微操纵器模块，可用于电控放大倍数的显微镜和XY样品台。

　　这款微探针台系统可以根据应用要求进行晶圆测试配置，满足亚微米尺度电学性能测试需要。我们可为您提供XYZ晶圆加载卡盘，提供制冷和加热功能等集成方案。

微探针台系统典型应用

　　电学微探针：测量半导体器件或晶圆的电学性能

　　材料测试：测试新材料的电学性能

　　微操纵：对微小器件进行微操作微操纵

微探针台系统规格参数

　　显微镜部分

　　光学分辨率：约1.1um

　　放大倍数：2.8X~35.5X（物镜10X)

　　工作距离：33.5mm

　　照明光源：同轴照明LED,光强可调

　　相机：1920x1200像素，USB3.0接口

　　焦距可调

　　样品台规格:手动XY位移台,行程10mm x 10mm, 分辨率0.5mm

　　样品尺寸：25.4mm 直径

　　电学探针规格：

　　接口：4个BNC接口

　　电压范围：+/-100V

　　电流范围：1pA~100mA

　　电阻：约为3.5V

　　探针台模块规格

　　自由度：4个独立的自由度X,Y,Z,Qz

　　速度：2.5mm/s(XY), 150mrad/s(Z)

　　运动范围： Stepping模式：20x20mm(XY), +/-180度（Qz), 42度（Z)

　　定位分辨率：Stepping模式下:50nm(X,Y), 120nm(Z)

　　探针规格：0.02'' (0.51mm) shank直径，针尖半径5nm~10um