TR-scan非接触式微观形貌测量仪
Trimos TRscan非接触式刀具微观形貌测量仪，全自动共焦三维测量。于刀具制造工业，根据多点谱线共焦，一次入射200束光到工件表面，在每束光路上自动聚焦，快速获得刀具表面三维形貌，采用此次多点谱线共焦传感器和图像处理系统，可以对各种复杂的刀刃及其模具进行准确的测量，具有完善的分析功能模块，对其表面形貌进行轮廓、面积、体积、粗糙度、截面等测量。
TR-scan非接触式微观形貌测量仪主要特点：
强大的多点共焦技术，zui准确的测量出表面形貌数据（角度、半径、轮廓、粗糙度）
通过光学方式测量Ra、Rq、Rz等粗糙度参数
测量速度快，可整合成一个高效的在线测量系统
适用于陡峭的斜面，爬坡角度高达85度
垂直分辨率高达30nm
TRSCAN是可同时获得表面形貌和真实颜色信息的3D测量设备，测量更加精确灵活
通过脚本自动测量，更适用于批量测量，并生成图形或数字报告
粗糙度和轮廓测量符合EN/ISO4287标准
可用于选定区域的面积及体积计算
可选配转台，实现三维扫面
可用于复杂几何外形的形状分析，可测量角度、半径等表面特征
技术参数：
| 工作台移动范围X | 100mm | ||
| 工作台移动范围Y | 固定式 | ||
| 工作台移动范围Z | 240mm | ||
| XYZ轴zui小位移量 | 0.1μm | ||
| XYZ轴定位精度 | 1μm | ||
| XY轴导轨直线度 | 1.5μm | ||
| 工件zui大重量 | 20kg | ||
| 测量原理 | 非接触式多点谱线共焦传感器 | ||
| 光源 | 白色LED共轴光，高强光，数字可控 | ||
| 色谱共焦传感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
| 线宽 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
| 工作距离 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
| 光斑间隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
| 光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
| 爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
| 测量范围 | 200μm | 950μm | 4mm |
| 轴向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
| 精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
| 厚度zui小分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
| 测量zui大厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |
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