光刻机研发测试平台

光刻机自身的控制系统软件，使用U-TEST测试平台来验证。

光刻机的每一个部段有一个控制软件，每一个部段都是一个嵌入式系统，每一个嵌入式系统都有相应的控制软件。

传统的做法：软件需要在硬件上编译，烧到硬件上，然后再开始验证。

光刻机研发过程中选用法国斯飞SPHEREA U-TEST模拟硬件，把光刻机控制软件放到U-TEST User Code里面来运行，可以先行验证控制软件，大大缩短光刻机研发时间和降低研发经费。

法国斯飞SPHEREA U-TEST 实时软件框架，用于构建集成与验证平台，支持全数字模型的虚拟测试、系统集成、和全系统测试；在同一个平台之上开展系统研发的V&V工作！

• 全模型虚拟测试

将不同建模工具 (Matlab Simulink, AmeSim, Scade, ) 创建的模型，在U-TEST实时运算环境中进行交互验证；

• 系统集成

通过系统真件与数字模型的交互验证，采用迭代增量的方式进行持续集成，实现较低风险的系统集成过程；

• 系统测试与取证

在同一平台上，完成机载计算机，促动器，传感器，液压机械部件，电系统，航电系统，机电系统等目标系统的测试；

法国斯飞SPHEREA U-TEST 关键特性

• 实时计算

从模型运算，到硬件信号处理，确保时间要求

• 灵活架构

从单一设备，到完整系统，可伸缩的测试平台

• 开放平台

从硬件板卡，到软件编程语言，均可由用户选择

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荷兰ASML研发，选用了U-TEST测试平台。

法国斯飞SPHEREA U-TEST 测试平台软件，用于构建系统仿真、系统集成和验证测试台，平台的关键性能：

• 实时计算平台：低至50μs - 1ms任务周期

• 计算能力：支持多于16核的CPU和FPGA/GPU异构的良好性能计算

• 硬件抽象层：支持集成大容量的硬件资源板卡(不限制板卡制造商)

• 分布式数据层：读写能力达40000个变量/秒

• 模型与硬件在环：仿真模型与硬件I/O的数据交互在5μs之内

• 实时C++开发和调试环境：支持快速原型开发

• 开放的编程接口：支持与第三方的应用集成

• 适航取证：严格的研发流程和文档体系，支持工具的合格性证明

  
  

  
  

• 基于模型的需求确认和可行性分析

U-TEST 集成飞行仿真、飞机系统或设备接口仿真、 以及开发环境、导入工具链和API编程接口用于开发或导入用户仿真模型

• 真实设备和虚拟仿真混合的系统集成与验证

基于读写变量的信号采集/发送、模型数据与硬件信号的交互MIL&HIL实时任务创建、配置、控制和运行性能分析

• 全系统集成/验证/取证

迭代增量的方式在同一个平台上完成全系统集成验证和取证测试，实现高安全性系统

• 实时应用开发

具备C/C++开发、编译和调试环境，以及实时任务运行平台，支持快速原型或实时应用 (仿真、监控任务) 的开发