碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅悬臂桨桨,主要规格2378毫米,2550毫米,2660毫米等
碳化硅悬臂桨主要应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用。
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碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件
碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅悬臂桨桨,主要规格2378毫米,2550毫米,2660毫米等
碳化硅悬臂桨主要应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用。
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