蓝宝石衬底窗口 精抛纳米二氧化硅氧化铝CMP抛光液

型号: HPLSI100SA

颜色:乳白色

介质:水溶性

平均粒径: 80-120纳米

Sio2含量（%）:39-41

PH值:10-11

比重（20°C）g/cm³:

应用：蓝宝石晶圆、衬底、窗口、光学、盖板、工件表面的抛光处理。

特点：特制 蓝宝石抛光液，胶体粒度细,抛光液稳定性和分散均一性好，对抛光工件表面的损伤层极微，可以得到较高的表面质量。

案例：

蓝宝石晶圆抛光规格：

材质 gt;%蓝宝石晶体

晶向：C Plane [0001]±°

直径：± mm

厚度：650±25um

正面粗糙度：Ra < （化学抛光CMP）

背面粗糙度：Ra <（研磨）

TTV≤10 um

Bow≤10 um

Warp≤10 um

包装规格： 500ml；5L

储存方式：存放温度为5°C~30°C，常规温度25°C，避免阳光照射

保质期限：抛光液保质期限为1年

稀释比例：稀释需要去离子或蒸馏水，建议稀释比例：氧化硅1:1~1:5，氧化铝1:1~1:20

备注：下单前需要与客服确认，特殊产品有起订量的要求