定制-TMC SEM-Base/STACIS 主动地面消振系统 Mag-NetX 主动磁场消除系统-青岛森泉光电有限公司

SEM-Base VI的优势--

硬式安装技术– SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容，并积极地减轻了从 Hz开始的低频地板振动。
主动惯性振动消除– SEM-Base VI使用高灵敏度，低频惯性速度传感器，即使在安静的地板上也能实现高水平的振动衰减。
压电技术的串行设计–的串行设计和高压压电技术可实现从 Hz到150 Hz的宽有源带宽，以及无yu伦比的惯性有源振动消除功能，从2 Hz开始可降低90％。

性能指标

主动自由度	6
有效带宽	赫兹-100赫兹
被动固有频率	额定12 Hz
有效有源谐振频率	赫兹
1 Hz时的隔离	40％-70％
2 Hz时的隔离	90％
隔离度≥3Hz	90-98％
内部噪音	均方根< nm
工作负荷范围	标准容量：900-2,500磅（408-1134千克）高容量：2,500-3,200磅（1134-1452千克）
距平台 4英寸（102毫米）处发出的磁场	<μg宽带rms

设计，尺寸以及环境和公用事业要求

环境与安全	符合CE和RoHS
有源隔离元件	小3300磅（1500千克）容量的压电执行器从高压放大器接收信号，输出功率高达800 VDC。垂直执行器支持隔离的有效负载。
被动隔离元件	单硬质弹性体（无需压缩空气供应）
振动传感器元件	向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔离器下方的地面振动，并提供与振动速度成比例的电压
主动反馈控制回路	在支撑隔离表面的弹簧下方对地板振动进行测量，处理和衰减
尺寸（宽x深）	x 英寸 895 x 1124毫米
高度	标称英寸（160毫米），关闭SEM-Base时不会改变
工作温度	50°-90°F 10°-32°摄氏度
储存温度	-40°-130°F -40°-55°C
湿度	<80％@ 68°华氏度\| 20°C，露点18°C
系统电源要求	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz交流; <600 w CE认证
地板位移	<800微英寸 10 Hz以下（20μm）

内置控制器规格

处理器	150/75 MHz双核
采样率	10 kHz的
模拟量输出	16个频道
模拟量输入	16个频道
状态灯	单颗LED
前面板端口	1个串行USB 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC
用户界面	用于Microsoft Windows 嵌入式以太网GUI的终端扩展GUI上的前面板LCD显示字符菜单

SEM-Base/STACIS 主动地面消振系统

为从扫描电子显微镜（SEM/FIB）到大型透射电子显微镜（TEM/Cryo-TEM/STEM）的所有商用带电束射工具提供实时主动消除地面振动的系统。

Mag-NetX 主动磁场消除系统

可在独立式笼，外壳安装或壁挂式结构因子中，Mag-NetX主动监测并实时消除交流和直流场的波动，确保它们不会干扰电子显微镜的磁透镜。

关于TMC

TMC为纳米技术设计和制造的建筑地面隔振系统。TMC隔离器支持超测量、仪器和制造。我们继续于行业的主动、惯性振动消除系统，具有压电驱动器和数字控制器。我们的无源产品范围从简单的、桌面隔离显微镜底座，到几乎任何尺寸的光学表系统。
TMC产品让光子学、半导体制造、生命科学、发现和纳米技术等领域的超研究、测量和制造成为可能。我们的产品是在的、垂直一体化的制造设施中设计和制造的，并以提供服务的客户承诺为后盾。
TMC是阿美特克超测量部门成员，阿美特克是电子仪器和机电设备的，年销售额约为50亿美金。为材料分析、超测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与控制、运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。共有18,000多名员工，150多家工厂，在美国及其它30多个设立了100多个销售及服务中心。

注意：具体请咨询销售经理，网上标价不作为实际成交。

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