setra西特730系列真空电容式压力计

　　Setra的 730 型是一款高精度的电容式压力计（亦称电容式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精度达 ±%，分辨率高，优于同类产品。 730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介

　　质。由于采用直接测量设计，它能测量介质，不受应用中气体混合物成分的影响。应用·半导体处理室·石化·等离子体灭菌器·真空包装，领域，

友情提示：

　　用户再定货前需要注明蕞终用户和购买之前要经过美国方面审批从才可以订货，如填写虚假用户一切责任由用户承担。此产品和西特的760，761，141产品受到严格管制，建议客户一次购买时多买一个做备件，此产品审批时间和订货周期都要比一般的西特的压力产品长很多。

　　特性

　　·高精度：±% 读数

　　·张紧的膜片保证优异的性能

　　·工作温度补偿范围宽

　　·回路噪声低，响应快

　　·不易受环境条件变化影响

　　·出色的抗过压设计

　　·符合 CE 和 RoHS 规范

　　应用

　　·半导体处理室

　　·石化

　　·等离子体灭菌器

　　·真空包装

　　■ 耐化学品的 InconelTM设计

　　■ 的低真空测量

　　■ 专用压力接头适合苛刻应用的高性能产品

　　采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工

　　业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的

　　特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。

　　Inconel® 设计保证通用性

　　所有接液部件均采用 InconelTM 材料，因此对半导体

　　和工业真空过程中的腐蚀性介质具有的耐受性。

　　Inconel TM 材 料 结 合 全 焊 接 结 构， 确 保 730 型 在 这 类

　　应用中的长使用寿命。

　　直接压力测量

　　内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业

　　电容式压力计不同， 730 型测量直接压力，不受被测

　　混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计。

　　技术规格：

　　电压输出

　　电路3线

　　激励14-30VDC;9-30VDC

　　输出0-10VDC ;0-5VDC

　　输出阻抗<1Ω

　　功耗<200mW

　　CE认证89/336/EEC重工业标准

　　MODEL720的环境参数

　　工作温度-20～+80℃(-4～+176℉)

　　存储温度-40～+125℃(-40～+257℉)

　　冲击50g

　　MODEL730的温度影响

　　补偿范围0～+50℃(+32～+122℉)

　　零点漂移±%FS/℃(±%FS/℉)

　　量程漂移±%RDG/℃

　　物理参数

　　壳体不锈钢

　　电气连接9针D型插座

　　压力连接见订购指南

　　接液部件InconelRRRRR

　　压力介质与InconelRRRRR相容的液体或气体.InconelRRRRR接液部分仅配″管的压力接头.选择其它的压力接头需要加不锈钢.

　　重量(约)137克

　　腔体体积<立方厘米

　　MODEL730的性能参数

　　精度±%FSBBBBBBBBBB±%FS(可选)

　　响应时间20ms

　　长期稳定性±%FS/年

　　分辨率无限,仅受输出噪声的限制(%FS)