成本效益

SENpro是具成本效益的光谱椭偏仪，同时不影响*测量性能。

可变入射角

光谱椭偏仪SENpro包括可变入射角的角度计，40°—90°，步进值5°，用于优化椭偏测量。

步进扫描分析器

SENpro具有的步进扫描分析器。在数据采集过程中，偏振器和补偿器固定，以提供高的椭偏测量精度。

光谱椭偏仪SENpro具有操作简单，测量速度快，能对不同入射角的椭偏测量数据进行组合分析等特点。光谱范围为370到1050 nm。SENpro的光谱范围与精密的SpectraRay/4软件相结合，可以轻易地确定单层膜和复合层叠膜的厚度和折射率。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可见光到近红外椭偏仪光学，5°步进角度计，样品台、激光准直器、光纤耦合稳定光源和探测器单元。SENpro配备了用于系统控制和数据分析的光谱椭偏仪软件SpectraRay/4 ，用于包括建模，拟合和报告输出。即使对于初学者，该程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持计算机控制的用于均匀性测量的自动扫描。

SENpro专注于薄膜测量的速度和精度，不管是何种薄膜应用。测量范围从1 nm的薄层膜到15 μm的厚层膜。

对于各种各样的应用，SpectraRay/4都提供了预定义的配方。

SENpro 是全新的经济型光谱椭偏仪的代表, 操作简易, 多角度或单角度入射快速测量并分析数据。 SENpro可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数。也能够测量各角度入射反射光谱和透射光谱，并同椭偏测量数据结合分析。使用补偿器，可自动纠正非理想薄膜导致的退偏效应。

SENpro 带有光谱椭偏仪分析软件 SpectraRay LT，可对系统硬件控制和数据分析， 如测量数据、建模、拟合和输出结果。

主要应用:

1，测量透明薄膜的厚度和折射率（厚度范围 nm - 10,000 nm），可工作于透明或吸收基底。

2，测量多层膜

3，分析非晶硅、多晶硅薄膜和SOI膜

4，测量光刻胶的光学常数

5，分析有机薄膜

6，测量各向异性材料和薄膜