精确稳定的激光源和准确的环境补偿,保证了± ppm的线性测量精度。可以高达50 kHZ频率读取数据,高线性测量速度可达4 m/s,即使在高速度下线性分辨率仍可达1 nm。所有测量选项(不只是线性)均采用干涉法测量
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