产品特点
v 双等离子清洗源
v 一机多用
v 快速高效低损伤
技术参数
产品型号 | CIF-TEM |
真空泵 | Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵 |
z大入口压力：1.0个大气压（0psig），z大出口压力：1.4个大气压（6.5psig） | |
z高抽速：60L/min，j限真空：3.3 x 10-1 mbar | |
KF16入口接口 | |
等离子电源 | 13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-100W可调 |
两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸(长X宽X高)：150x150x150mm |
清洗数量 | 可同时清洗3支TEM样品杆 |
适配品牌 | Thermo Fisher（FEI）、日立Hitachi、捷欧路JEOL |
气体控制 | 标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求可选择氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源 |
真空控制 | 美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源 | 220V，50/60Hz，300W |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
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