XD Laser™激光干涉仪简介

XD Laser™激光干涉仪体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上，XD Laser™激光干涉仪主要由稳频激光器，干涉镜和6D传感器组成，从激光发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经维角反射棱镜反射后返回干涉干涉仪与参考光束相干涉产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子计数，记录准确的长度位置，**束光作直线度测量的参考光束，传感器与参考光束之间的相对位移由装载传感器内的横向光电二极管测得，第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差(俯仰角和偏摆角)。

为了保证激光光束的稳定性，测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑，以使测量仪的横向和角度漂移量都降到*小，从而保证测量仪的长期稳定性，测量仪配有自动气压，环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响。测量仪还配有站们设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到*低。

XD Laser™激光干涉仪技术参数

5D/6D标准型：

1. 线性：0.5ppm .

2. 测量范围：40米(1D可选80米)

3. 线性分辨力：0.001um.

4. 偏摆角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值

5. *大范围：800角秒

6. 滚动角精度：1.0角秒

7. 直线度精度：(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值

8. 直线度*大范围：500um

9. 垂直度精度：1角秒

10. 温度精度：0.2摄氏度

11.湿度精度：5%

12.压力精度：1mmHg

主要特点：

1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角

2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

3. 可选的无线遥控传感器*长的控制距离可到25米

4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。

5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架

6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间

XD Laser™激光干涉仪工作流程图

XD Laser™激光干涉仪细节图

XD Laser™激光干涉仪界面图