Filmetrics是厚度测量系统的制造商。Filmetrics的厚度和回缩指数可以在不到一秒的时间内测量。像Filmetrics的所有仪器一样,例如F20型号连接到用户Windows计算机的USB端口并在几分钟内设置。
只需一次点击,我们就可以通过分析薄膜如何反射光来测量薄膜的厚度。通过测量人眼不可见的光,可以测量薄至1nm和厚至13mm的薄膜。而且,由于没有移动部件,结果可以在几秒钟内获得:薄膜厚度,颜色,折射率,甚至粗糙度
薄膜厚度测量系统
F20系列
测量膜:平面,半透明,吸光膜。 例如:SiO 2 SiNX DLC,光刻胶,多晶硅, 非晶硅,硅晶片 基板:平坦,反射 如果要获得光学指数,基板应该是平坦的和反射的。如果衬底是透明的,则应该进行反射处理。 基板:Si,Al,GaAs,钢,聚合物薄膜, 聚碳酸酯
F20 厚度标准片:
F20 厚度标准片 Rei-si-4:不带氧化硅 F20 厚度标准片Ts~Sio2-4-7200,带氧化硅
F30:集成薄膜厚度 测量系统
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强大的工具可用于监测薄膜沉积。用F30光谱反射系统实时测量沉积速率,薄膜厚度,光学常数(n和k)以及半导体和介质层的均匀性。
F40:显微镜薄膜厚度 测量系统
F40产品系列适用于需要小至1微米的光点尺寸的应用。对于大多数显微镜,F40只需连接到摄像机安装的行业标准Cmount适配器。
几乎任何样品形状的厚度和指数的全自动映射。手动加载和机器人加载系统是可用的。
Filmetrics F60-t系列可 |
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