用途:DIC95微分干涉显微镜，可选配微分干涉物镜，光源可选LED和光纤冷光源，物镜上方的DIC棱镜可作水平和上下微调，两个方向的线偏振光分合所形成的浮雕图像，适合于芯片封装后的品检很微小的突起，细微划痕的观察，测量.
物镜规格：
f=200mm用全平场复消色差物镜/M Plan APO | ||||||
物镜数据 | ||||||
倍率 | 2X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | 0.55 |
W.D(mm) | 34 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | 13 |
焦点距离(mm) | 100 | 40 | 20 | 10 | 4 | 2 |
分解率(µm) | 5 | 2 | 1 | 0.7 | 0.5 | 0.5 |
焦深(µm) | 91 | 14 | 3.58 | 1.6 | 0.9 | 0.9 |
宽视野2/3"sensor(mm) | 4.4 *3.3 | 1.76*1.32 | 0.88*0.66 | 0.44* 0.33 | 0.176*0.132 | 0.088*0.066 |
宽视野1/2sensor(mm) | 3.2 * 2.4 | 1.28*0.96 | 0.64* 0.48 | 0.32*0.24 | 0.128*0.096 | 0.064 *0.048 |
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