腔体密封保持工艺验证与风险控制
“腔体密封保持工艺验证与风险控制”应先明确具体材料的合格终点与实际装载。以下内容用于需求讨论与试样验证，参数须由材料资料和具体设备配置确认。
腔体保持测试固定温度和隔离阀状态，记录压力变化与门封状态。
工艺验证步骤
先比较空腔与装载后的抽气曲线，区分漏气、样品放气和挥发物负荷；单次压力上升不能直接判定密封失效。
在同一温度和隔离条件下记录压力保持变化，逐项检查门封、阀门、接头、测量管路和泵。
检修或更换密封后重复基线和实际装载验证；保存检修前后曲线，确认干燥终点与气氛稳定性恢复。
试样与验收
验证报告应列出传感器与校准状态、原始曲线、材料结果、异常现象及接受或修订工艺的判断依据。遇到结果不一致时，先区分样品状态、装载和设备表现的变化，再调整参数。
目录配置核对
当前发布目录中的候选型号：ESC-VO1000-T6、ESC-VO125-T6、ESC-VO216-T6、ESC-VO27-T6。这些型号用于方案比较，是否适用仍取决于以上工况验证。
CMS 中标记为已核验且允许公开的参数（仅对应所列型号）：
- ESC-VO1000-T6: 内箱尺寸: 100010001000 mm
- ESC-VO1000-T6: 工作温度范围: A:室温+25
200℃；B:室温+35300℃；C:室温+45400℃；D:室温+50500℃；E:室温+60~600℃ - ESC-VO1000-T6: 加热系统: 不锈钢高速加热器
- ESC-VO1000-T6: 控制系统: 触摸屏程序控制型
- ESC-VO125-T6: 内箱尺寸: 500500500 mm
- ESC-VO125-T6: 工作温度范围: A:室温+25
200℃；B:室温+35300℃；C:室温+45400℃；D:室温+50500℃；E:室温+60~600℃ - ESC-VO125-T6: 加热系统: 不锈钢高速加热器
- ESC-VO125-T6: 控制系统: 触摸屏程序控制型
- ESC-VO216-T6: 内箱尺寸: 600600600 mm
- ESC-VO216-T6: 工作温度范围: A:室温+25
200℃；B:室温+35300℃；C:室温+45400℃；D:室温+50500℃；E:室温+60~600℃ - ESC-VO216-T6: 加热系统: 不锈钢高速加热器v
- ESC-VO216-T6: 控制系统: 触摸屏程序控制型
- ESC-VO27-T6: 内箱尺寸: 300300300 mm
- ESC-VO27-T6: 工作温度范围: A:室温+25
200℃；B:室温+35300℃；C:室温+45400℃；D:室温+50500℃；E:室温+60~600℃ - ESC-VO27-T6: 加热系统: 不锈钢高速加热器
- ESC-VO27-T6: 控制系统: 触摸屏程序控制型
