MAV9‑8TF‑SB‑1‑1是日本MRM株式会社生产的气动阀,MRM企业取得ISO9001认证,同时为SEMI会员企业,专注高纯氟树脂流体零部件研发制造,该款阀门可兼容Flowell 60系列、Flare型接口,多用于半导体IC、LCD/LED湿法清洗的高纯药液输送,也可应用在制药、医疗、分析仪器等对流体洁净度有要求的工况。
产品接液部位全部采用PFA、PTFE氟塑料材质,可以耐受多种腐蚀性药液。阀体采用高等级表面加工工艺,经过精密清洗,搭配平面密封结构,能够减少粉尘产生。阀门带有针对高压、热循环工况设计的安全结构,适配产线温度、压力波动的工作条件。阀门流道不会接触金属,降低金属离子析出,满足高纯流体输送的基础要求,阀体结构紧凑,便于集成安装到设备内部。
该款为气动驱动阀门,依靠气源实现管路通断控制。选型安装阶段,需要核对接口规格,确认管路匹配,做好管路固定,避免管路应力传导至阀体。接入气源时,要把供气压力控制在产品规定范围,气源流体需要保持洁净,减少杂质进入驱动部位。
设备运行过程中,要留意介质温度、压力,不要超出阀门允许区间,避免频繁超出工况范围造成密封部件损耗。日常维护可以定期检查阀门有无渗漏,观察密封部位状态。长时间停机前,建议对阀体内腔进行冲洗,排净内部残留药液,防止介质长期滞留造成部件腐蚀。存放环境保持干燥通风,规避阳光直射,以此延长阀门部件的使用周期。