白光干涉仪是一款非接触式纳米级三维表面形貌测量设备，依托低相干光学干涉技术，可对工件微观轮廓、粗糙度、台阶高度、平面度等指标进行高精度表征，是微纳制造、精密加工领域至关重要的检测仪器。北京仪光科技专注于白光干涉测量方案配套服务，主推Sensofar系列共聚焦白光干涉仪，融合白光干涉、相移干涉、共聚焦多焦叠加多种测量模式，兼顾测量精度与场景适配性，适配实验室研发与产线质检需求。
从原理来看，白光属于宽光谱低相干光源，和激光单色光源有明显区别，仅在零光程差位置才会出现对比度最高的干涉条纹，光程差稍大条纹便快速衰减，这也是白光干涉仪可以直接判定高度、不存在相位歧义的关键。光源发出的白光经扩束准直后送入分光棱镜，光束被拆分为参考光与测量光两路：参考光射向标准参考镜，测量光照射被测样品表面；两路光束反射后再次汇合，在CCD成像面形成干涉条纹。仪器搭载Z轴精密扫描机构持续扫描，同步采集每一个像素点的干涉信号包络，由算法解析零级干涉峰值位置，换算得到样品表面各点位高度数据，最终重建完整三维形貌。
北京仪光科技引进的Sensofar设备搭载EPSI扩展相移干涉技术，整合CSI相干扫描干涉与PSI相移干涉优势，在数百微米扫描行程内，高度分辨率最高可达0.1nm；同时支持共聚焦模式切换，光滑镜面、中等粗糙面、低反射材料都可稳定测量，一台仪器覆盖多类样品检测需求，代表机型包含S neox旗舰型与S lynx 2通用型三维轮廓仪，部分机型搭配大视场0.65X迈克尔逊物镜，适合大面积平面度、平行度快速检测，搭配高精度光学编码XY载物台，保障重复测量稳定性。
在实际落地应用上，依托非接触、无损伤、测量速度快的特点，白光干涉仪覆盖众多高级行业。半导体与封装领域，用于晶圆平面度、光刻区域形貌、微凸点高度、表面划痕缺陷检测，管控光刻良率；3C电子行业，玻璃盖板、光学膜片、精密结构件的粗糙度与台阶测量；光学加工领域，透镜、反射镜、衍射元件面形检测；MEMS与微纳器件，微流控通道、微型传感器结构形貌表征；同时也广泛用于航空航天精密零部件、汽车液压密封件、新材料科研试样等检测，可输出粗糙度Sa、Sz、台阶高度、曲率、体积、缺陷面积等全套量化参数，为工艺优化、来料检验、失效分析提供数据支撑。
相较于接触式轮廓仪，白光干涉仪不会划伤软质、超薄、易损伤样品；相比单一激光干涉仪，它测量范围更广，对台阶、不连续表面兼容性更强。北京仪光科技可为客户提供仪器选型、方案定制、现场调试与技术培训一体化服务，根据样品材质、粗糙度范围、检测指标匹配对应的物镜与测量模式，助力科研院所与制造企业搭建稳定的三维形貌检测平台。
