微电子行业洁净环境内，空气分子污染物也就是AMC，会来自建筑材料释放、工艺药剂挥发、设备维护、人员活动等多个源头，这类微量有机污染物一旦超标，会造成晶圆损耗，甚至引发产线停产，给生产带来损失，空气分子污染物监测系统，就是面向洁净环境微量有机物开展持续在线监测的专业设备，帮助使用者掌握污染物水平，定位污染源头，评估化学过滤器的实际状态。北京杜克泰克μVOC空气分子污染物监测系统，基于GC?FID气相色谱火焰离子检测技术，依靠色谱柱对复杂挥发性有机混合气体完成组分分离，不同组分依次流出色谱柱之后，通过火焰离子检测器识别浓度，搭配吹扫与载气系统，实现sub?ppb级别的组分分辨能力，整套系统属于全自动在线架构，不需要离线采样处理样品，直接完成实时测量。
这套
空气分子污染物监测系统可以支持多路采样通道，最多可以扩展至16个采样点位，能够同时监测醋酸、胺类、NMP、硅烷类物质、各类酯类、醇类、苯系物等几十种有机组分，实际测量组分可以结合客户现场需求定制。每个采样通道都可以配置报警阈值，当对应点位污染物浓度超出设定区间，系统就可以触发提醒。采样点位可以布置在新风空调箱、FFU过滤器的上下游，也可以布置在机台周边，对比过滤器进、出口的污染物数据，就能够判断过滤介质的吸附消耗程度，帮助工作人员选择合适的过滤器更换时机，避免更换过早带来成本浪费，或是更换不及时造成污染物穿透影响生产。当产线内部出现污染物交叉扩散，一个工序使用的药剂扩散到其他工位形成干扰的时候，依靠多点位同步采集的数据，能够跟踪污染物出现的时间与传播路径，协助工作人员定位污染源，开展问题诊断。
整套系统集成计算机与配套软件，完成数据采集、存储、结果实时展示，不需要二次换算计算，系统自带板载标定功能，遵循质量控制规则，同时支持远程联网技术支持。设备运行需要对应的供气配套，包括干燥压缩空气以及氢气，也可以选配氢气发生器，整机放置环境温度需要维持在合适区间，外壳防护等级可以适配车间工况，配备RS-232、以太网、ODBC接口，方便对接厂区数据平台。日常运维中，工作人员需要关注供气的稳定性，保证载气、燃气供给稳定，定期检查采样管线，防止管路吸附污染物，按照设备规程开展标定核查，维护色谱单元，保障组分分离效果。借助空气分子污染物监测系统持续不间断的监测能力，洁净室可以实现对AMC的长期管控，提前捕捉浓度异常，降低污染物给半导体生产带来的各类风险，支撑产线稳定运行。
