KOFLOC科赋乐
小型数字质量流量计EX-250S系列它是一种数字质量流量设备，通过标准通信功能（RS485）实现高精度和高速响应，同时结构紧凑，采用高速绕线传感器和内部开发的具有出色稳定性的小型比例电磁阀。
小型质量流量装置（W76xD30xH76）
高速应答及出色的零点稳定性
□0-5V或4-20mA输入/输出信号，电源
可从±15V或24V单电源选择
电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器
通过切换旋转开关，可以使用主机中登记的气体类型。
※流量是与N2气体的比率计算出的值
标准配备通讯功能（RS485）
符合RoHS•CE标准
KOFLOC科赋乐小型数字质量流量计EX-250S标准规格：
形式质量流量控制器
EX-250SC质量流量计
EX-250SM
传感器方式热绕组传感器
阀门方式比例螺线管阀门（未通电时关闭）–
目标气体（*1）N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等
（未列出的气体换算成N2）
流量范围（*2）10SCCM~5SLM
控制范围（测量范围）2~100％（F.S.）
响应速度总流量控制范围在1sec内（within±2%F.S.）
L：50kPa~149kPaH：150kPa~300kPa–
精度（*3）±1.0%F.S.
再现性±0.2%F.S.
工作压差（*4）50~300kPa（Ar，CO2：100kPa~300kPa）–
最大入口压力500kPa（G）
耐压980kPa（G）
He泄漏率（*5）1x10-8Pa.m3/sec以下
温度允许周围温度5～50℃
精度保证温度15～35℃
允许储存温度-10～60℃
允许环境湿度10～90%RH（无结露）
气体接触材料SUS316，SUS316L，磁性不锈钢（*6），PTFE，FKM
电气连接Dsub9针KFC标准（符合SEMI标准）
HR-10A
流量设定输入信号0~5VDC（输入电阻约1MΩ）
Or4~20mA（输入电阻约250Ω）–
流量输出信号0~5VDC（负载电阻10kΩ以上）
or4~20mA（负载电阻500Ω以下）
数字通信通过RS485旋转开关设置地址
所需电源（DC）+15VDC（±5％）100mA以下，-15VDC（±5％）150mA以下
or+24VDC（±10％）180mA以下（MFM都为100mA以下）
接头（*7）1/4F900（标准）
安装姿势推荐水平方向
重量（*8）约500g约440g
