操作
美国PIE 等离子清洗机，请严格遵循完整流程，规范操作既能保障样品处理效果，也能延长设备使用寿命。
开机前先做检查，确认真空泵、工艺气瓶连接完好，供气压力稳定在5–10PSI，管路无漏气；查看腔体密封圈洁净无杂质，同时清理样品表面大块污染物。打开设备总电源，等待触摸屏系统启动完成。旋转开启腔体舱门，佩戴无尘手套放置样品，将工件均匀摆放在样品支架上，不要触碰电极与腔壁，样品之间预留间隙，保证等离子体充分接触表面。摆放完成后关好舱门，确认密封到位，设备安全联锁正常生效。
进入触控界面设置工艺参数，根据样品需求选择氩气、氧气等工艺气体，设定射频功率、气体流量与清洗时长，热敏材质优先选用低功率方案。参数确认无误后启动抽真空程序，等待腔体真空度达到工艺区间，系统自动通入工艺气体，随后开启射频电源激发等离子体。透过观察窗留意腔内辉光状态，正常呈现均匀淡紫色，运行期间持续监控真空度与功率数值，出现异常波动立刻按下停止键。
清洗程序倒计时结束，射频电源自动关闭。保持真空泵持续运转一段时间，排出腔体内部残余气体。完成后点击放气按键，等待腔体恢复常压，不要强行开门。缓慢开启舱门取出样品，及时清理腔体与支架内残留污染物。短期持续使用可维持低真空待机；当日全部实验结束，先关闭气瓶阀门，再停止真空泵，最后切断设备总电源。
操作全程禁止舱门未密封时启动工艺，避免真空泄漏影响处理效果；不要随意调高功率，防止样品表面灼伤。每次使用完成做好运行记录，定期清洁密封圈与腔体，减少污染物累积，保障设备长期稳定运行。
