DC‑1(CFD/PDS微量泵专用控制器)
定位:微量定量泵专属控制器,适配CFD(风囊)、PDS(高精度分配),单冲程精准控制、漏液报警、脉冲反馈。
1)参数
控制泵型:CFD‑1T/8T、PDS‑105R/H115
冲程控制:0–30spm(CFD)、0–60spm(PDS)
精度:重复性±0.1%,单冲程mL级精准
信号:脉冲输入(0.0156mL/脉冲)、漏液传感器接口
2)运用场景
光刻胶涂覆(PDS‑H115):5–12mL/片精准分配,无气泡/颗粒
单片清洗微量补液(CFD‑1T):1mL/shot级HF/氨水添加
1)参数
控制泵型:TC‑X/TTD、F系列气动隔膜泵
输出:同时控制3台泵,冲程/压力闭环
功能:流量/冲程计数、负载波动自动稳压、延长隔膜寿命
2)运用场景
大流量强腐蚀药液输送(TC‑X):刻蚀液/清洗液循环,稳定流量
CMP浆料循环:防沉淀、流量稳定,保护泵与管路
玉崎半导体(深圳)有限公司
日本京都玉崎资源旗下子公司,成立于2026年,总部位于日本大阪,是一家专注于半导体全品类产品贸易、技术配套及供应链服务的专业化企业,深耕半导体行业多年,聚焦全球**半导体资源整合与国产化替代配套,助力国内半导体产业高质量发展,与深圳市京都玉崎电子有限公司为关联企业专攻半导体细分赛道。
公司主营范围涵盖半导体全产业链相关产品,包括但不限于:集成电路(IC)、功率半导体(SiC/GaN、MOSFET、IGBT)、被动元件(电阻、电容、电感)、半导体设备及配件、耗材、传感器、光电器件等,广泛适配光伏储能、新能源汽车、工业控制、消费电子、通信设备、半导体制造、医疗电子、大学院校等核心应用领域。