2026年06月17日 14:21:57 来源：明通甄选 >> 进入该公司展台 阅读量：5
进口超声波流量计，SEMIFLOW夹持式流量计专为半导体行业设计。这款高精度、高可靠性的超声波传感器能够直接透过硬质塑料管或管道进行测量，与液体无接触，从而消除泄漏和污染风险，进而提高设备正常运行时间并最l大化良率。其紧凑的外壳设计集成了电子电路板，非常适合便捷的系统集成。
进口超声波流量计测量原理
SEMIFLOW流量传感器采用超声波时差法精确测定流量。传感器分别测量超声波沿流体流动方向和逆流动方向的传播时间。
两个信号之间的时间差即为判断流体流动速度的度量指标。测量以皮秒级精度进行，并以10 ms为周期进行平均处理。根据流体流动速度和已知的测量通道的横截面积，即可计算出具体的体积流量。
SEMIFLOW CO.65非接触式夹持流量计
非接触式流量测量
紧凑型传感器设计
高级别化学耐受性
高级别测量精度与重复性
半导体应用场景
→ 化学品供应/输送系统 (CCSS / CDS)
→ 化学机械抛光/平坦化(CMP)
→ 光刻工艺
→ 电镀工艺
→ 光刻胶涂覆
→ 研磨液（浆料）配制/混合
→ 晶圆/掩膜版清洗
→ 湿法刻蚀
进口超声波流量计
