近常压X射线光电子能谱仪技术参数

1.近常压XPS真空系统，包含分析腔和快速进样腔

1.1分析腔采用μ金属腔体或不锈钢腔体加消磁线圈

1.2分析腔配备分子泵以及前级泵，真空≤5×10-9mbar

1.3快速进样腔采用不锈钢腔体

1.4快速进样腔配备分子泵和前级泵，真空≤5×10-8mbar

2.电子能量分析器

2.1半球型，平均半径150mm

2.2四级差分抽气系统，一级和二级差分抽气之间配有阀门，可以实现真空腔体进气时保证分析器的真空度

2.3工作压力最大可达25mbar

2.4分析器接收角：≥44o

2.5工作距离：300-500μm

2.6八个入口狭缝，三个出口狭缝

2.7能量分辨率：≤10meV

2.8探测能量范围可达3.5keV

2.9Ag 3d峰计数率（在Al靶X光源束斑≤250μm，20W条件下）：≥70kcps在UHV条件；≥7kcps在10mbar N2条件；≥0.5kcps在25mbar N2条件

2.10配有一维探测器（ADCMOS）

3.单色化阳极靶微聚焦X射线光源

3.1类型：单色化Al/Ag/Cr三阳极靶

3.2工作范围：10-10 –25mbar

3.3Al靶光斑尺寸：≤200μm

3.4Al靶光通量≥1.0x1010photons/s；Ag靶光通量≥1.0x109photons/s，Cr靶光通量≥1.0x1010photos/s

3.5配有差抽系统

3.6配套水冷机组，最大水压可达9bar

4.近常压X射线光电子能谱仪进气气路

4.1配有三路进气管路系统，配备质量流量计，用于气体通入

4.2带有自动压力控制，压力范围：1-30mbar

5.分析腔四轴全自动样品架

5.1四轴样品架移动范围：

X=±12.5mm

Y=±12.5mm

Z方向范围随系统配置

P=±180°polar（极角）

5.2四轴全自动化马达

5.3配备150W红外激光加热器，在25mbar N2条件下，样品温度最高可达1000℃

5.5配有液氮冷却，样品温度可到150K

6. 紫外光源

6.1束流密度＞2x1016 photons/(sec x sterad)

6.2能量分辨率：FWHM＜2meV

6.3可用气体：He、Ne、Ar等

6.4样品上束斑尺寸：＜500μm

6.5可在近常压环境下进行UPS测试