TOC超纯水指需电子行业用水，其水中要去除细菌、泥沙、胶体、悬浮物、金属这些导电杂质。其电阻率≥18MΩ/cm（25℃，EW-I）。
一、什么是超纯水中的TOC
TOC指水中所有有机污染物含碳量的总和（单位通常为μg/L或ppb）。在半导体晶圆清洗、液相色谱等场景中，哪怕只有ppb级的有机物残留，也会导致光刻图案失真、芯片短路或分析基线漂移。
常见水质标准：
GB/T11446.1EW-Ⅰ级（电子级）：TOC≤10ppb（μg/L），电阻率≥18.2MΩ·cm
SEMIF63（半导体行业）：TOC≤5ppb，先进制程内控≤1ppb
ASTMD1193TypeI（实验室一级水）：TOC≤10～50ppb
二、TOC超纯水的主要来源
1.原水中的腐殖酸、藻类等天然有机物未被去除
2.管路/水箱中微生物繁殖及其代谢产物
3.高分子材料（PVC、PP、RO膜）的微量溶出物
1.电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。
2.化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。
3.单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。
4.高压变电器的清洗等
四、产品规格
1.处理水量：2~60m3/h
2.灯管配置：12~48支
3.灯管类型：85w/155w(185/254nm双波段)
4.石英套管：T＞80%@185nm
5.镇流器：50~100%输出功率可调
6.反应器材质：316L
7.洁净等级：内外电解抛光、表面光洁度10以上（≤Ra0.2）
8.法兰尺寸：DN50~DN200
9.额定压力：PN10
10.控制柜等级：IP55，碳钢喷塑
11.控制系统：本地/远程、触摸屏、连接SCADA系统
12.UV强度传感器：分辨率0.01mw/cm2
