Epc微
压力控制器,epc电子压力控制器采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快
y应用领域 气相和液相色谱仪
半导体工艺
环境监测设备 (如VOC S 等 )
微反应装置及材料制备实验装置 (CVD)'D)
反应器压力控制
气体发生器
气体流量控制
Epc微压力控制器,epc电子压力控制器核心优势：
采用的控制算法与高灵敏度传感器，实现快速、稳定的压力设定与控制。具备优异的重复精度与长期稳定性，适用于对压力控制有苛刻要求的工艺场景，如半导体薄膜沉积、气体混合配比、阀门校准等。
价值体现：提升工艺一致性，保障产品良率，实现生产过程的精细化管控。
高性能MFC质量流量计/控制器
核心优势：提供从标准型到高精度型的全系列产品，测量与控制范围宽广，响应迅速。具备出色的线性度与低零点漂移特性，支持多种通讯协议，能与各类工业系统无缝集成。
价值体现：实现对工艺气体流量的精确计量与动态控制，是优化反应过程、提高资源利用率、确保安全与环保排放的关键部件。
电容薄膜式真空计
核心优势：采用稳定性的电容薄膜传感器，实现从大气压到真空度的宽量程精确测量。几乎不受气体种类影响，读数精准，尤其适用于需要监测高纯、腐蚀性或多组分气体的真空环境。
价值体现：为真空工艺腔室、镀膜设备、分析仪器等提供可靠的过程“眼睛”，是保障真空工艺质量与可重复性的基石。
