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奥林巴斯OLS5500激光共聚焦显微镜三大技术

2026年05月15日 14:12:32      来源:未来仪器 >> 进入该公司展台      阅读量:12

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   奥林巴斯OLS5500激光共聚焦显微镜是全新一代精准测量激光共聚焦显微镜,于2025年末发布,专为研发(R&D)、质量保证(QA)及质量控制(QC)团队量身打造。该仪器最大的技术突破在于将激光扫描显微镜(LSM)、白光干涉仪(WLI)和聚焦变化显微镜(FVM)三大成像技术融于一体,一套系统即可覆盖从纳米级到毫米级、从平坦区域到陡峭斜坡的全场景测量,构建起从研发至质控的统一测量基准。
  三大技术各司其职、互为补充: LSM提供横向分辨率,精准测量粗糙纹理、微观结构和陡峭斜面;WLI实现纳米级垂直精度,适配光滑表面、斜面和薄膜测量,检测效率较传统激光共聚焦显微镜最高提升40倍;FVM则实现从宏观到微观的全覆盖,适用于大面积或不规则区域的测量。三种模式协同工作,可同时保障LSM与WLI两种成像模式在用户现场的测量准确性与重复性,且由技术人员进行现场校准,带有时间戳记录,确保符合国际计量标准。
  在光学设计上,OLS5500搭载自主研发的LEXT专用物镜,能克服传统物镜边缘区域失真的痛点,保持整个视场的清晰度和形状保真度。高数值孔径WLI物镜最高可达0.8 NA,即使在陡峭或纹理表面上也能产生清晰的干涉条纹和相位稳定性。配合4K高灵敏度传感器、激光微分干涉对比(DIC)技术及上表面检测滤色片,可清晰捕捉传统系统无法显示的关键细节。
  智能自动化是另一大亮点:载物台移动时自动生成宏观地图并实时跟踪记录,提供连续自动对焦功能,无需手动重新对焦;流程向导式界面让不同熟练程度的用户都能轻松操作。该设备广泛应用于半导体晶圆检测、5G电路板铜箔粗糙度测量、滚珠轴承表面分析,乃至医疗显微外科手术等领域。
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