YOKOHAMA消泡罐脱气模组横滨理化（YOKOHAMA RIKA）MF 系列 是日本原装的氟系中空纤维膜脱气 / 消泡模块，专为半导体、FPD 等高纯化学品制程设计，核心用于在线去除光刻胶、显影液、溶剂中的微气泡与溶解氧。
YOKOHAMA消泡罐脱气模组
五大核心优势
超高效脱气消泡
采用氟系中空纤维膜技术，可同时去除溶解气体（O₂, CO₂）与微气泡。
脱气后溶解氧可降至 10 ppb 以下，杜绝制程缺陷。
耐强腐蚀，全 PFA 流路
与药液接触部分全为PFA 材质，耐强酸、强碱及各类有机溶剂（如 PGMEA、NMP）。
无金属溶出，适配半导体高纯工艺。
性能强、成本低
相比传统 PTFE 脱气模块，性能提升 40%，价格降低 40%。
结构紧凑，无需电源，直接串接管路即可在线连续脱气。
长寿命、低维护
膜丝强度高，耐溶剂、不易堵塞。
无活动部件，免维护、寿命长，大幅降低备件成本。
安装灵活
标准快插接口，即插即用，可垂直 / 水平任意安装。
支持串联 / 并联扩容，适配不同流量需求。
三、五大核心应用领域
半导体制造：光刻胶、显影液、蚀刻液、剥离液、清洗液
FPD / 液晶：彩色光刻胶、ITO 蚀刻液、显影液
新能源：锂电池电解液、导电浆料、固态电池材料
电子材料：CMP 抛光液、高纯度化学品、纳米分散液
精密化工：UV 油墨、精密涂料、医疗试剂
