ICP光谱仪具有以下优点： 1.多元素同时检出能力。可同时检测一个样品中的多种元素。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。
2.分析速度快。试样多数不需经过化学处理就可分析，且固体、液体试样均可直接分析，同时还可多元素同时测定，若用光电直读光谱仪，则可在几分钟内同时作几十个元素的定量测定。
3.选择性好。由于光谱的特征性强，所以对于一些化学性质极相似的元素的分析具有特别重要的意义。如铌和钽、铣和铪、十几种稀土元素的分析用其他方法都很困难，而对aes来说是毫无困难之举。
4.检出限低。用电感耦合等离子体新光源，检出限可低至数量级。
5.用icp光源时，准确度高，标准曲线的线性范围宽，可达4～6个数量级。可同时测定高、中、低含量的不同元素。因此广泛应用于各个领域之中。
6.样品消耗少，适于整批样品的多组分测定，尤其是定性分析更显示出*的优势。
ICP光谱仪的分析方法：
1、定性分析
要确认试样中存在某个元素，需要在试样光谱中找出三条或三条以上该元素的灵敏线，并且谱线之间的强度关系是合理的；只要某元素的灵敏线不存在，就可以肯定试样中无该元素。
2、定量分析
工作曲线法，标准样品的组成与实际样品一致，在工作曲线的直线范围内测定，使用无干扰的分析线
3、半定量分析
有些样品不要求给出十分准确的分析数据，允许有较大偏差，但需要尽快给出分析数据，这类样品可采用半定量分析法。ICP光源的半定量分析尚无通用方法，因仪器类型和软件功能而异，应用不广泛。
