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XRT成像系统实现了核心部件的自主可控

2026年04月14日 17:56:53      来源:未来仪器 >> 进入该公司展台      阅读量:4

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 芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累,历时多年攻坚,成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪(XRT)。

与美系日系国际竞品相比,芯基石 XRT实现了核心部件的自主可控。这不仅意味着实惠的价格,大幅降低了企业的导入成本,更意味着交付周期缩短至 3-6 个月,且不受国际供应链波动影响。

XRT成像系统该设备利用高精度X射线技术,无损透视材料内部晶格结构,可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷,可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷,并自带算法,可以提供非标定制服务。

XRT成像系统产品介绍:

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