复合式三坐标测量机（Composite Coordinate Measuring Machine，简称复合式CMM）是一种融合多种传感技术的高精度三维测量设备，广泛应用于航空航天、汽车制造、电子工业等对精密检测要求高的领域。它最早于1987年问世，s台设备名为“Inspector®”。
与传统仅依赖接触式探针的三坐标测量机不同，复合式CMM集成了接触式测头（如触发式或扫描式探针）与多种非接触式传感器，包括CCD视觉系统、激光测距传感器、白光干涉仪甚至X射线断层扫描装置。这种多传感器融合架构使其能够根据被测对象的材质、表面特性、几何复杂度及精度需求，灵活切换或同步使用不同测量方式。
例如，对于易变形、微小或高反光零件，可采用光学非接触方式快速获取点云数据；而对于需要高重复性和刚性支撑的关键尺寸，则启用接触式探针进行精准采点。该设备不仅能完成常规的尺寸、形位公差检测，还可用于逆向工程、曲面重构和复杂几何元素拟合。
复合式CMM通常基于高稳定性的桥式或龙门式机械结构，并配备智能软件系统，支持自动路径规划、多源数据融合、3D建模及SPC统计分析。其测量精度可达微米级，是现代智能制造中实现数字化质量控制的核心装备之一。
